[´º½º¿¡µà] ¹Ì·¡Ã¢Á¶°úÇкÎ(Àå°ü ÃÖ¾çÈñ, ÀÌÇÏ ¹Ì·¡ºÎ)¿Í Çѱ¹¿¬±¸Àç´Ü(ÀÌ»çÀå Á¶¹«Á¦, ÀÌÇÏ ¿¬±¸Àç´Ü)Àº ÀÌ´ÞÀÇ °úÇбâ¼úÀÚ»ó 9¿ù ¼ö»óÀÚ·Î µ¿±¹´ëÇб³ À¶ÇÕ¿¡³ÊÁö½Å¼ÒÀç°øÇаú ³ë¿ë¿µ(»çÁø) ±³¼ö¸¦ ¼±Á¤Çß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
¹Ì·¡ºÎ¿Í ¿¬±¸Àç´ÜÀº ³ë¿ë¿µ ±³¼ö°¡ °¡Á¤¿¡¼ ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÇ´Â À×Å©Á¬ ÇÁ¸°ÅÍÀÇ ¿ø¸®¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© °í¼º´É À¯¿¬ÀüÀÚȸ·Î ¹× ÃÊ°í°¨µµ À¯¿¬ °¡½º¼¾¼¸¦ °³¹ßÇØ Ç÷¢¼ºí ¹× Â÷¼¼´ë ¿þ¾î·¯ºí ±â±âÀÇ ÇٽɼÒÀç ¹× Á¦Á¶°øÁ¤ ±â¼ú ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÑ °ÍÀÌ ³ôÀÌ Æò°¡µÇ¾ú´Ù°í ¼±Á¤ ¹è°æÀ» ¼³¸íÇß´Ù.
³ë¿ë¿µ ±³¼ö´Â °£´ÜÇÑ Àμâ°øÁ¤ ±â¼úÀ» ÅëÇؼ 1~2³ª³ë¹ÌÅÍ ¼öÁØÀ¸·Î µÎ²² Á¶ÀýÀÌ °¡´ÉÇÑ ´ë¸éÀû ÃÊÁ¤¹Ð µµÆ÷ ±â¼ú°ú °íÇØ»óµµ ÀÚ±âÁ¤·Ä Àμâ ÆÐÅÍ´×(Patterning) ¿øõ±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ¿´´Ù.
¶ÇÇÑ, ÀÌ ¿øõ±â¼úÀ» °¡½º¼¾¼¿¡ Àû¿ëÇÏ¿© ±âÁ¸ÀÇ »ó¿ëÈµÈ ¾Ï¸ð´Ï¾Æ °¡½º¼¾¼º¸´Ù 50¹è ÀÌ»ó ³ôÀº ¹Î°¨µµ¸¦ Áö´Ï¸ç 1ppm ¼öÁØÀÇ °¨Áö°¡ °¡´ÉÇÑ Åõ¸í À¯¿¬ ¾Ï¸ð´Ï¾Æ °¡½º¼¾¼¸¦ °³¹ßÇÏ¿´´Ù.
³ë¿ë¿µ ±³¼ö°¡ °³¹ßÇÑ ±â¼úÀº ´Ù¾çÇÑ À¯ÇüÀÇ ¿ë¾×À» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÇÏ´Â À¯¿¬¼ÒÀÚ Á¦Á¶¿¡ ÇʼöÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, °¡½º¼¾¼´Â »ç¹°ÀÎÅÍ³Ý ±â±â¿Í ¿¬µ¿ÇØ ½Ç³» °ø±âÁúÀ» °¨ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ°í À§ÇèÈÇÕ¹° °¨Áö¸¦ À§ÇÑ ½Ç½Ã°£ ¸ð´ÏÅ͸µ ½Ã½ºÅÛ°ú È£ÈíÀ¸·Î °³ÀÎÀÇ °Ç°À» ¸ð´ÏÅ͸µÇÏ´Â °Ç°Áø´Ü½Ã½ºÅÛÀ¸·Î È°¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.